Simulation of deposition processes with PECVD apparatus : theory and applicatios / Jüergen Geiser and Meraa Arab.

Contributor(s):

Material type: Text

TextLanguage: English Publication details: New York : Nova Publishers, c2012.Description: xviii, 144 p. : ill. ; 24 cmISBN:

Subject(s):

DDC classification:

LOC classification:

Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.

Holdings
Item type	Current library	Call number	Copy number	Status	Date due	Barcode
წიგნები / Books	ცენტრალური ბიბლიოთეკა / Central library ტექნიკური დარ. / Techn. hall	621.1 / 159 (Browse shelf(Opens below))	K - 11344	Available		2016-5148

Price. 10 L.

Includes bibliographical references (p. [123]-140) and index.

There are no comments on this title.

to post a comment.

საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტის ნიკო მუსხელიშვილის სახელობის საუნივერსიტეტო ბიბლიოთეკა