Разработка процессов сухого и жидкостного травления в технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем на основе арсенида галлия.Диссертация: на соискание учёной степени кандидата технических наук / Научный рук-ль:канд.физ.-мат.наук Нина Павловна Хучуа.
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Тб.: ТГУ им.Джавахишвили, 2006.Description: 110сSubject(s):
Contents:
Summary: Резюме:99с.
Автореферат прилагается.
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
დისერტაცია / Dissertation
|
ცენტრალური ბიბლიოთეკა / Central library მთავარი საცავი / General store | 621.315.5.001 / 4 (Browse shelf(Opens below)) | Д-6105 | Not for loan | 2015-0608 |
Библиогр.: 102-110с.
Автореферат прилагается.
Резюме:99с.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.