Разработка процессов фотолитографии в арсенидгаллиевой технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем.Диссертация: на соискание степени кандидата техн-х наук / Т.Б.Сахарова;Научный рук-ль канд.физико-матем-х наук :Н.П.Хучуа
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Тб.: ТГУ, 2006.Description: 118сSubject(s):
Contents:
Summary: Резюме :111с.
Автореферат прилагается.
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
დისერტაცია / Dissertation
|
ცენტრალური ბიბლიოთეკა / Central library მთავარი საცავი / General store | 621.315.5.001 / 2 (Browse shelf(Opens below)) | Д-6103 | Not for loan | 2015-0615 |
Библиогр.:113-118с.
Автореферат прилагается.
Резюме :111с.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.